Nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev khov- txheej txheem ziab, kev tswj kom zoo ib txwm nyob ntawm lub sijhawm ruaj khov-raws li cov kev pabcuam thiab kev tshuaj xyuas offline ntawm cov qauv zaum kawg. Txoj hauv kev no raug kev txom nyem los ntawm kev lag luam thiab tsis muaj kev cuam tshuam batch-rau-batch lossis intra-batch variations hauv lub sijhawm; yog li ntawd, nws tuaj yeem ua rau qis dua - ziab (ua rau muaj cov dej seem ntau) lossis dhau - ziab (ua rau poob ntawm cov khoom lag luam thiab cov khoom siv tsis zoo). Nrog rau kev sib xyaw ua ke ntawm Cov Txheej Txheem Kev Tshawb Fawb Technology (PAT) cov tswv yim, cov tshuab nqus tsev khov niaj hnub no tau nce ntxiv nrog PAT cov cuab yeej. Cov cuab yeej no txhawm rau ua kom muaj kev tiv thaiv kev tiv thaiv ntawm kev khov- txheej txheem ziab- nrog rau kev txiav txim siab tshawb fawb ntawm qhov kawg ntawm qhov ziab- los ntawm lub sijhawm tiag -, kev tshuaj xyuas online ntawm cov txheej txheem tseem ceeb.
Lub hauv paus ntawm PAT yog nyob rau hauv kev tau txais cov ntaub ntawv siab - zoo, siab - cov ntaub ntawv txheej txheem zaus. Cov tshuab ziab khaub ncaws niaj hnub no siv siab -cov cuab yeej ntsuas qhov tseeb los sau thiab txheeb xyuas cov ntsiab lus hauv qab no hauv lub sijhawm tiag tiag:
1. Kev ntsuas kub:
Khoom Kub: Cov khoom kub yog qhov ncaj tshaj qhov ntsuas. Los ntawm kev ntxig cov khoom sojntsuam-feem ntau Resistance Temperature Detectors (RTDs) lossis thermocouples- ncaj qha rau hauv cov qauv vials, qhov ntsuas kub ntawm cov qauv (los ntawm hauv qab ntawm lub vial mus rau sublimation pem hauv ntej) tuaj yeem saib xyuas hauv lub sijhawm. Qhov no qhia meej txog seb puas ua ntej- khov ua tiav, qhov kub ntawm sublimation pem hauv ntej thaum ziab thawj (uas yuav tsum nyob qis dua qhov taw tes eutectic), thiab cov kev hloov pauv ntawm tus qauv ntsuas kub thaum lub sij hawm thib ob ziab.
Txee qhov kub thiab txias: Qhov ntsuas no tswj cov cua sov qhov chaw tawm tswv yim; qhov sib xws ntawm cov txee qhov kub thiab txias-thiab nws lub peev xwm los taug qab qhov chaw teeb tsa kom raug- cuam tshuam ncaj qha rau qhov ziab thiab qhov sib xws ntawm cov khoom kawg.
Txias Txias Kub: Qhov ntsuas cua txias qhia txog lub condenser cov dej - ntes lub peev xwm thiab qhia txog kev ua haujlwm ntawm lub tub yees.
2. Kev ntsuas siab:
Chamber Pressure: Qhov no yog ntsuas nrog siab precision siv capacitive diaphragm gauges. Thaum lub sij hawm thawj lub sij hawm ziab, cov dej vapor yog cov feem ntau gaseous tivthaiv; Yog li ntawd, lub chamber siab bears ib tug ncaj qha correlation rau qhov kub ntawm lub sublimation pem hauv ntej (tswj los ntawm lub nkhaus ntawm dej saturation vapor siab). Kev soj ntsuam kev hloov pauv siab ua haujlwm yog lub hauv paus tseem ceeb rau kev cuam tshuam txog lub xeev tam sim no ntawm cov qauv khoom.
3. Gas Composition Analysis:
Dej Vapor Ib Ntu Kev Ntsuas Siab: Siv cov tswv yim xws li Mass Spectrometry (MS) lossis Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy (TDLAS), ib nrab siab ntawm cov dej vapor hauv chav ziab tuaj yeem ntsuas lub sijhawm thiab hauv online. Thaum lub sij hawm thawj theem ziab, cov dej vapor ib nrab siab yog ze li ntawm tag nrho cov chamber siab; Txawm li cas los xij, thaum hloov mus rau theem thib ob kom qhuav, cov dej vapor ib nrab siab poob qis heev. Qhov no muab cov pov thawj ncaj qha tshaj plaws rau kev txiav txim siab qhov kawg ntawm qhov ziab.
Inert Gas Tracer Method: Thaum lub sij hawm khov- txheej txheem ziab, ib qho kab ntawm cov roj inert-ib qho uas tsis hnov tsw nrog dej (xws li, helium)- yog txhaj rau hauv lub chamber. Cov kev hloov pauv hauv qhov concentration ntawm cov roj tracer no tau saib xyuas siv MS lossis TDLAS. Variations nyob rau hauv tiam tus nqi ntawm cov dej vapor ua rau lub dilution los yog concentration ntawm inert gases, yog li indirectly thiab rhiab heev reflecting tus nqi ntawm dej vapor khiav.
